自動ウエハオリフラ合わせ器／８”ウエハノッチアライナー


概要

MGI社のウエハオリフラ合せ器及び8”ウエハノッチアライナーは世界で最も実績のある装置で、4”ウエハから8”までのオリフラ合せ器と8”ノッチウエハ専用のノッチアライナーが用意されています。各モデルとも、オリフラ又はノッチの位置（角度）をウエハ円周360°の任意の位置にスイッチで設定出来、ウエハの入ったカセットをステージ上に置くだけで自動的にローラーが回転し、所定の位置にオリフラ又はノッチを整列させ、ストップします。また、装置は非常にコンパクトに設計されていますので狭いスペースでも充分対応できます。


4“〜8”オリフラ合わせ器


8“専用ノッチアライナー