自動ウエハ移載装置         モデル：ＥＴ／フェニックス


●ウエハサイズは3”〜8”まで対応。
● 移載方式は、標準ピッチ／ハーフピッチ／倍ピッチ／バック・トゥー・バックその他の移載に対応。
●エアーシリンダーを使わず、パルスモーター駆動の為パーティクルの発生率を大幅に低減。
● 特殊形状のウエハ保持治具を採用している為、移載中のウエハの揺れが無く、ウエハのキャッチミスや落下を防止。
●ウエハをカセット又は石英ボートに移す際、自動的にスピードを減速させコントロールする為、ウエハの破損やチッピングが無い。
●静電気によるウエハ同志の接触トラブルを防ぐ機能有り。（オプション）
●1ステージ仕様及び2ステージ仕様（スライドテーブル採用）を用意。

モデル：フェニックスの特徴 ●フェニックスも基本的に前述モデル：ETの特徴を全て揃えています。 ●2ステージ仕様から4ステージ仕様まで対応。 ●一台の装置でウエハ50枚一括移載と１枚づつを枚葉移載するコンビネーションタイプも用意。（モデル：フェニックスプラス）

３ステージ仕様

機械サイズ