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加熱式バンププルテスト(特許取得済:第2973832号)
シェアテスト方式の破断面
《ハンダボールをシェアテストした後の破断面》
《基板から削り取られたボール》
ボールが基板面から削り取られているだけで、パッドとボールの接合界面はこの下にある。
加熱式バンププルテスト方式の破断面
![]() ![]() 《ハンダボールをプルした後の破断面》
《プルテストした後のプローブ》
ボールとパッドの接合界面から剥離されている。
パッドと接合界面から剥離されたハンダボールとプルしたプローブ。
この加熱式バンププルテスト方式は、加熱されたプローブをハンダボール又はバンプに溶融接合し、冷却/固着後そのプローブを基板面より垂直方向に引っ張り、ボール又はバンプが基板面から剥離された時の接合強度を測定し、剥離面(破壊面)の観察を行うものです。
このテストは従来のシェアテスト方式とは違い,ボール又はバンプを垂直方向に引っ張りますので接合面の一番弱い層から確実に剥離(破壊)されます。従いまして基板のバリアメタル層のどこが一番弱いのかの診断や、ランドのメッキの出来映え評価の試験等に最適です。 最小ハンダボールは直径80ミクロンまで対応できます。
*下記に、従来のシェアテスト方式での破断モードと加熱式バンププル方式での破断モードとの違いをSEM写真でご覧ください。バンププル方式では接合界面から破断されていますが、シェアテスト方式では接合界面の上のボールだけがシェア(せん断)されていて、接合界面からは破断されていません。
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