主な特徴

◆　300ｍｍウェハ特殊固定ステージ
　　独自のウェハ固定ステージを使用し、300mmウェハの搬送も簡単に行えます。

◆　θ回転機構付きシェア用ロードセル
　　シェアツールが回転し、ツールの方向（シェア方向）に対してステージが同調して
　　動くので、あらゆる向きのバンプ測定がジョイスティックのみの操作で素早く
　　簡単に行えます。

◆　ロボットアームハンドラー／ＳＭＩＦ等に対応可能
　　お客様の既存システムとのインターフェース製作もご相談ください。

◆　多彩なテストに対応
　　シリーズ4000と互換性のあるロードセルを使用しておりますので多彩なテストに
　　対応が可能です。　テスト事例