主な特徴

装置本体部

測定後の破断面の観察に有効な、測長機能付きイメージキャプチャーの取り付けが可能です。
　レンズは倍率の異なる高倍率レンズが、３個付属します。 *オプション

 

高倍率ボアスコープにより、顕微鏡を使用することなく測定が可能です。　極小サンプル評価に最適です。*オプション

 

 

 

引き出し式大容量収納スペース。　シェアツールやプルフック等、備品の収納に便利です。
・ロードセルを装置本体上部の収納ラックに最大３個まで保管可能です。

 

 

 

 

XYモーター駆動ステージのストロークは標準仕様で160ミリX160ミリです。　高荷重用と、微小荷重用の２種類のステージが選択可能です。　更に300ミリX210ミリのワイドストロークステージもラインナップ。

 

 

 

テンキーはより押しやすい配置となり、お客様の好みに応じて機能の割り当てがカスタマイズ可能です。

顕微鏡の高さ調整はノブひとつで簡単に行えます。

ＬＥＤ照明となり、明るさの調光はソフトにて行えます。

Z軸のワークスペースを延長したLEもラインナップ。車載製品等に対応。

オープンスペースで微小基板から大型基板まで対応可。　トッププレートを外せば治具を直接取付可能。

制御ソフト

プログラムにより、オートテストも可能です。　ウェハローダー等の移載機と組み合わせてご使用頂けます。

 

 

 

＊導入実績例：　300mmウェハローダー＋ボンドテスター

 

付属パソコンは、ディスクトップ型に限らずノートパソコンでも対応可能です。　USB接続

コントロールソフトを一新し、より分かりやすく、解析機能も充実しました。　日本語対応。4000／5000でもご使用頂けます。

破壊モード判定に有効なエネルギー表示も可能です。*オプション

スタックタイプのデバイスにおけるオーバーハングされたチップ上のバンプシェアテストが可能です。シェアテスト時のチップのたわみ問題を解消します。*オプション

 

 

 

破壊モードの登録は写真等の画像を取り込むことが可能です。　ビジュアル効果により、モード判定が容易になりました。

Auバンプのシェアテスト時に、パッシベーション膜の影響を回避した測定が行えます。*オプション

自動ピッチ送り機能により、次のテストポイントに移動する際、予め設定した距離で移動します。

シェアツールやプルフックの使用回数を管理するツールカウンター機能を装備。

 

 

 

 

 

 

ロードセル

新開発の高精度4000Plus専用ロードセル以外に、シリーズ4000／5000のロードセルがそのまま使用可能です。

既にロードセルを所有されているお客様は、本体の買い換えのみで、4000Plusの新機能をご使用頂けます。

シェアテスト後にツールに付着したバンプ等を除去します。　オペレーターの作業負担も減り、次のテストへ素早く移動できます。*オプション

校正作業は全て基準分銅を用いて行います。　高荷重レンジの校正でも、実際のテストと同じ動作で校正を行います。繰り返し精度も確認できます。

３点曲げ試験、疲労試験等の材料試験が可能です。

測定精度±0.1%（選定したレンジに対する精度）

ロードセルはワンタッチで交換可能。（20秒以内）ロードセルを抜き差しするだけで、装置本体が瞬時に自動認識します。　オペレータはあらためてテスト条件等を設定し直す必要がありません。

プルテストは最大100kgfまで対応。

非常停止ボタンを標準装備。　万が一の時も安心です。

ツールクランプ機構によりシェアツールの破損を防ぎます。