35ミクロン以下の微小ボンディング対応 次世代ハイスペックボンドテスター
◆ 微小荷重の正確な検出を可能にした高精度ロードセルを使用可能
ロードセル精度 0.01%以内 (100ppm)
◆ アンチバイブレーションシステム標準採用
微小荷重を検出する為に振動対策にも細心の注意を払いました。 ◆ ボアスコープシステム
ボアスコープシステムを採用することにより、テスト後のモード観察/記録が 可能になり、更に微小バンプの位置合わせも容易になりました。 ◆ 高精度モーター軸制御により高い繰返し精度を実現