主な特徴

◆　認識解像度0.50μmのX線管（X線発生器）を搭載

◆　200万画素デジタルI.I.管 or 130万画素フラットパネルディテクター（X線検出器）を搭載
　　※ワイドなコントラスト幅を生かしてCuワイヤー検査を行うにはフラットパネルディテク　　　ターをお奨めします。

◆　幾何学倍率最大1800倍（計算値）。

◆　I.I.管（X線検出器）を最大70°傾動、サンプルを中心にして360°方向から観察可能。オートラッキング機能も標準装備（目標物の位置ずれを自動補正）

◆　AXiS（エアーによる防振機能）を標準装備

◆　最大基板サイズ508mm × 404mmまで搭載可能の大型テーブルを採用

　透過画像例

 

　機能性

 

業界最高水準の優れた操作性

クリアなライブ画像で観察ポイントにマウスのカーソルを合わせてクリックするだけで速やかに見たいポイントへ移動が可能。ジョイスティックを使ってのテーブル移動も可能です（オプション）。

マウス操作のみで倍率変更やXY、傾動など全てのステージ制御が可能です。

※マウス操作でもマウスドラッグもしくはマウスジョイスティックによる２種類のテーブル移動モードがあります。

ティーチング機能

同じ部品を複数検査する場合には、ひとつの部品の検査パターンを反映できます。繰り返し検査を効率化することができます。

AXiS（アクティブ・イメージ・スタビライゼーション）機構搭載

外部からの振動を防ぐ防振機能を標準装備し、安定画像を実現。

メンテナンス作業が不要

開放管型X線管につきものであった定期フィラメント交換およびターゲットのメンテナンス作業が必要ありません。

　ソフトウェア

多彩な画像解析ソフトウェア

寸法計測機能、面積・バンプ径・真円度・ボイド率計測・ワイヤー流れ率測定・明暗反転・擬似カラー表示、擬似3D表示等の機能を標準装備しています。

バンプの自動計測、ワイヤーループの自動計測機能をティーチング機能に折り込むことで検査の簡便化が図れます。

※左画像は未溶融ハンダ（BGA）↓

 

　仕　様

X 線発生装置 （TYPE）	NT500 型
（管電圧）	160 kV
（管電流）	0.2 mA
認識解像度	0.50 μm
装置寸法（W × D × H）	1450 × 1700 × 1970 mm
重量	1900 kg
試料テーブル寸法	508 × 444 mm
最大検査範囲	458 × 407 mm
最大サンプル重量	5 kg
幾何学倍率	1800 倍
イメージインテンシファイヤ管傾斜角	0～70°/360°方向
ユーティリティー	電源：単相AC200V 16A ドライエアー 4.1～6.2k gf/cm2
安全性、適合規格、X 線漏線量	< 1 μSV/hr
PC システム、データ出力	Windows XP/FD、USB 出力
定期フィラメント交換の有無	無し

上記仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

　オプション

 

3次元CTユニット（参考・左写真）

短時間での3D画像構築、小型部品の断層撮影などに適します。
専用ステージを利用することで2Dから3Dへの切り替えが簡単です。

加熱ステージ（参考・右写真）

はんだ接合部などのリフロー中の挙動をライブでX線観察が可能です。

 

受託解析・試験承ります！

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