主な特徴

◆　認識解像度0.95μmのX線管（X線発生器）を搭載

◆　130万画素デジタルI.I.管 or 130万画素フラットパネルディテクター（X線検出器）を搭載
　　※ワイドなコントラスト幅を生かしてCuワイヤー検査を行うにはフラットパネルディテク　　　ターをお奨めします。

◆　幾何学倍率最大1200倍（計算値）

◆　X線検出器を最大70°傾動、サンプルを中心にして360°方向から観察可能。オー トラッキング（観察ポイント位置ずれを自動補正）機能も標準装備

◆　ラバーマウントによるサンプルテーブルの防振機能を標準装備

◆　最大基板サイズ508mm × 444mmまで搭載可能の大型テーブルを採用

※オプションにて660mm × 800mmの大型ステージモデルへの切り替えも可能です。

→XD7800VR（開放型） or XD7800NT950HP （NT型）

◆　BGA・CSP等のはんだボール内のボイド・クラック解析、システムLSIやチップ部品などの検査用途に最適です。　　

　透過画像例

 

　機能性

業界最高水準の優れた操作性

クリアなライブ画像で観察ポイントにマウスのカーソルを合わせてクリックするだけで速やかに見たいポイントへ移動が可能。ジョイスティックを使ってのテーブル移動も可能です（オプション）。

マウス操作のみで倍率変更やXY、傾動など全てのステージ制御が可能です。
※マウス操作でもマウスドラッグもしくはマウスジョイスティックによる２種類のテーブル移動モードがあります。

 

ティーチング機能

同じ部品を複数検査する場合には、ひとつの部品の検査パターンを反映できます。繰り返し検査を効率化することができます。

大型テーブルの採用

最大基板サイズ508mm × 444mmまで搭載できる大型テーブルを採用し、最大検査範囲458mm × 407mmを実現しました。

メンテナンス作業が不要

開放管型X線管につきものであった定期フィラメント交換およびターゲットのメンテナンス作業が必要ありません。

　ソフトウェア

 

多彩な画像解析ソフトウェア

寸法計測機能、面積・バンプ径・真円度・ボイド率計測・ワイヤー流れ率測定・明暗反転・擬似カラー表示、擬似3D表示、X線量リミット等の機能を標準装備しています。

バンプの自動計測、ワイヤーループの自動計測機能をティーチング機能に折り込むことで検査の簡便化が図れます。

※左画像は未溶融ハンダ（BGA）→

 

　仕　様

X 線発生装置 （TYPE）	XD7500NT Jade/ Jade FP
（管電圧）	160 kV
（管電流）	0.2 mA
認識解像度	0.95 μm
装置寸法（W × D × H）	1450 × 1700 × 1970 mm
重量	1900 kg
試料テーブル寸法	508 × 444 mm
最大検査範囲	458 × 407 mm
最大サンプル重量	5 kg
幾何学倍率	1200 倍
イメージインテンシファイヤ管傾斜角	0～70°/360°方向
ユーティリティー	電源：単相AC200V 16A
安全性、適合規格、X 線漏線量	EU. US.規格適合 漏れ線量< 1 μSV/hr
PC システム、データ出力	Windows XP/FD、USB 出力

上記仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

　オプション

 

 

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