XTシリーズは半導体部品内部検査及びフリップチップなどの微細ピッチ部品の
バンプ接合面の検査に適したサブミクロンフォーカスX線検査装置です。
対応基板テーブルサイズにより３機種ラインアップがございます。

XTシリーズの特徴

・ 自社開発のサブミクロン（１＜μｍ）焦点寸法をもつＸ線管を
　 搭載しています。

・ I.I.管スイング機能によりサンプルを最大で４５°の角度で３６０°
　 の方向から観察できます。

・ オートトラッキング機能を採用しており傾斜時、回転時に位置が
　 ずれることなく観察ができます。

・ マウス１つで全ての操作が可能です。

・ ナビゲーションマップ機能によりマウスクリックのみでテーブルの
　 移動が可能です。