X線検査装置/非破壊検査/dage-ARCTEK

　　　　　　　　　　　　　　高精度な分解能に高倍率を実現したフル機能搭載モデル

　　　　　　　　　　ｻﾌﾞﾐｸﾛﾝﾌｫｰｶｽⅩ線検査装置ＸｉＤＡＴＸＤ７５００VR

　　　　　　　　　　　　　　高画質に加え、操作性と機能性に非常に長けた高性能モデル

　　　　　　　　　　マイクロﾌｫｰｶｽⅩ線検査装置ＸｉＤＡＴＸＤ７４００

　機種：XD7600

■ 特　徴

　・認識解像度0.95μm（XD7500VR）/2.0μm（XD7400）開放型X線管（X線発生器）を

　　搭載。

　・１３０万画素デジタルI.I.管（X線検出器）を搭載　　★動画撮影可

　・幾何学倍率最大１２００倍、ﾓﾆﾀｰ倍率最大５６５０倍（XD7500VR）

　　　　　　　　　　　　　６００倍、ﾓﾆﾀｰ倍率最大２４５０倍（XD7400）

　・ I.I.管（X線検出器）を最大７０°傾動、サンプルを中心にして３６０°方向から

　　観察可能。オートトラッキング機能も標準装備（目標物の位置ずれを自動補正）

　・ラバーマウントによるサンプルテーブルの防振機構を標準装備

　・最大基板サイズ508mm×444mmまで搭載可能の大型テーブルを採用　

　　 ※オプションにて660mm×800mm大型タイプへの切り替えも可能です。

■ 用　途

　・ BGA/CSPなどバンプ接合部およびボイド検査

　・電子部品内部不良検査

　・高密度実装基板の検査

透過画像例

機　能　性

■ 業界最高水準の優れた操作性

　・クリアなライブ画像で観察ポイントにマウスのカーソルを合わせてクリ

　　ックするだけで速やかに見たいポイントへ移動が可能。ジョイスティック

　　を使ってテーブル移動も可能です（オプション）。

　・マウス操作のみで倍率変更やXY、傾動などすべてのステージ制御が

　　可能です。

　 ※マウス操作でもマウスドラッグもしくはマウスジョイスティックによる２

　　　種類のテーブル移動モードがあります。

■ ティーチング機能

　・同じ部品を複数検査する場合には、ひとつの部品の検査パターンを反映

　　できます。繰り返し検査を効率化することができます。

■ AXiS（アクティブ・イメージ・スタビライゼーション）機構搭載

　・外部からの振動を防ぐ防振機構をXD7500VRに装備し、安定画像を実現

■ 大型テーブルの採用

　・最大基板サイズ508mm×444mmまで搭載できる大型テーブルを採用し、

　　最大検査範囲458mm×407mmを実現しました。

ソ　フ　ト

■ 多彩な画像解析・自動検査ソフトウェア

　・寸法測定機能、面積・バンプ径・真円度・ボイド率

　　計測、イメージ強調、擬似カラー表示、擬似３Ｄ表

　　示等の機能を標準装備しています。

　・バンプの自動計測、ワイヤーループの自動計測

　　機能をティーティング機能に折り込むことで検査

　　の簡便化が図れます。

仕　　様

X 線発生装置（ＴＹＰＥ）	XD7500VR（VR160型）	XD7400（TR160型）
（管電圧）	160kV	120kV
（管電流）	0.2mA	0.2mA
認識解像度	0.95μm	2.0μm
装置寸法（W×D×H）	1450×1510×1970mm	1450×1510×1970mm
重　　量	1700kg	1700kg
資料テーブル	508×444mm	508×444mm
最大検査範囲	458×407mm	458×407mm
最大サンプル重量	5kg	5kg
幾何学倍率	1200倍	600倍
イメージインテンシファイヤ管傾斜角	0～70°	0～70°
ユーティリティー	電源：単層AC200V 16A	電源：単層AC200V 20A
安全性、適合規格、X線漏線量	EU,US規格適合　　　　　　　漏れ線量< 1μSV/hr	EU,US規格適合　　　　　　　　漏れ線量<1μSV/hr
PCシステム、データ出力	Windows XP/FD、USB出力	Windows XP/FD、USB出力

※上記仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

オプション

■ 加熱ステージ

　・はんだ接合部などのリフロー中の挙

　　動をライブでX線観察が可能です。