XiDAT XDシリーズは新型I.I.管（イメージインテンシファイア管）を搭載し、解像度を
大幅にアップしました。更に7000シリーズではI.I.管の傾斜角度が最大７０度まで
可能になりバンプ接合部の状態 がより観察しやすくなりました。
XiDAT XD7000シリーズ の特徴
・ デジタルイメージインテンシファイア管（１３０万画素ＣＣＤ採用）により、解像度が大幅にアップしました。
・ XD7600は自社開発のサブミクロン（＜０．６μm）の焦点寸法をもつ開放型Ｘ線管を搭載しております。XD7500はマイクロフォーカス（＜2μm）の焦点寸法をもつ開放型X線管を搭載しております。
・ 20インチデジタル対応ディスプレイを標準装備しました。
・ I.I.管スイング機能により、サンプルを最大で７０°の角度で３６０°の方向から観察が可能です。
・ マウス１つで全ての操作が可能です。
・ オートトラッキング機能を採用しており傾斜時、回転時に位置がずれる事無く
観察が可能です。
・ ナビゲーションマップ機能によりマウスクリックのみで見たい場所にテーブルを移動
することが可能です。
・ 防振機構を標準装備（XD7600）
