XiDAT XDシリーズは 新型I.I管（イメージインテンシファイヤ管）を搭載し、解
像度を大幅にアップしました。昨今のより微細化、集積化した半導体部品内部
検査、 実装後の接合部検査に適したサブミクロンフォーカスX線検査装置です。
XiDAT XD6000シリーズ の特徴
・ デジタルイメージインテンシファイヤ管（130万画素CCD採用）により、解像度が
大幅にアップしました。
・ 自社開発のサブミクロン（＜0.6μm）の焦点寸法を持つ開放型X線管を搭載して
おります。（ＸＤ6600）
・ 19インチデジタル対応ディスプレイ（1600×1200ピクセル）を標準装備しました。
・ I.I.管スイング機能により、サンプルを最大で４5°の角度で360°の方向から
観察が可能です。
・ マウス1つで全ての操作が可能です。
・ オートトラッキング機能を採用しており傾斜時、回転時に位置がずれる事無く
観察が可能です。
・ ナビゲーションマップ機能によりマウスクリックのみでテーブルの移動が可能です。
