自動ウエハ移載装置        
モデル：ＥＴ／フェニックス

●ウエハサイズは3"〜8"まで対応。
● 移載方式は、標準ピッチ／ハーフピッチ／倍ピッチ／バック・トゥー・バックその他の移載に対応。
●エアーシリンダーを使わず、パルスモーター駆動の為パーティクルの発生率を大幅に低減。
● 特殊形状のウエハ保持治具を採用している為、移載中のウエハの揺れが無く、ウエハのキャッチミスや落下を防止。
●ウエハをカセット又は石英ボートに移す際、自動的にスピードを減速させコントロールする為、ウエハの破損やチッピングが無い。
●静電気によるウエハ同志の接触トラブルを防ぐ機能有り。（オプション）
●1ステージ仕様及び2ステージ仕様（スライドテーブル採用）を用意。